ASTM F399-2000a 异质外延层或聚硅层厚度的标准试验方法

作者:标准资料网时间:2024-05-11 18:58:30 浏览:9431 来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardTestMethodforThicknessofHeteroepitaxialorPolysiliconLayers
【原文标准名称】:异质外延层或聚硅层厚度的标准试验方法
【标准号】:ASTMF399-2000a
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2000
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:epi;epitaxial;layerthickness;poly;polysilicon;profilometer;stepheight
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversthedeterminationofthicknessofsiliconheteroepitaxialorpolysiliconlayersdepositedunderconditionssuchthattheinterfaceregionbetweenthedeposi
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P.;A4
【正文语种】:

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